薄膜材料成分分析方法
[摘要] 到目前為止，對薄膜結構和成分分析的研究方法已達一百多種。但它們具有共同的特征：利用一種探測束——如電子束、 離子束、光子束、中性粒子束等，從樣品中發(fā)射或散射粒子波，他們可以是電子、離子、中性粒子、光子或聲波，檢測這些粒子的能量、動量、荷質比、束流強度等特性，或波的頻率、方向、強度、偏振等情況，來分析材料化學組成、原子結構、原子狀態(tài)、電子狀態(tài)等方面的信息。
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上網時間：2009-04-16
